B11 · सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक गैस
सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैसों के लिए स्टेनलेस स्टील प्लेटें: चयन गाइड और 6 भाग सूचियाँ
हमारी सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैसों में, हमने स्टेनलेस स्टील का उपयोग करके 6 भागों को व्यवस्थित किया है: सामान्यतः उपयोग किया जाने वाला 316L / 304L जिसकी मोटाई 0.05–30 mm तक है।
छह स्थान और सामग्री सूचियाँ
| स्थान / भाग | अनुशंसित ग्रेड | विनिर्देश / मोटाई | सतह | मुख्य विफलता मोड | संदर्भ मानक |
|---|---|---|---|---|---|
| UHP गैस स्थानांतरण पाइपलाइन | 316L VIM-VAR | 1/8″–2″ | Ra≤0.4μm इलेक्ट्रोपॉलिशिंग; अंतरकणीय संक्षारण परीक्षण | कण प्रतिधारण → वेफर संदूषण; Cl⁻/F⁻ नक़्क़ाशी; वेल्ड ताप-प्रभावित क्षेत्र (HAZ) संक्षारण | SEMI F20 Grade 5; ASTM A269/A632; SEMI F19 |
| विशेष गैस कैबिनेट के लिए वाल्व बॉडी/गेज/डायाफ्राम वाल्व | 316L VIM-VAR फोर्जिंग | DN1/4″–1″；Cv 0.05–1.30 | Ra≤0.4μm इलेक्ट्रोपॉलिशिंग | सीट से पाइप दीवार की दूरी > 1D प्रतिधारण मृत क्षेत्र बनाती है; संक्षारक विशेष गैस नक़्क़ाशी | SEMI F20 4.6.2；ASTM A182 |
| गैस फ़िल्टर/कनेक्शन/बॉस | 316L VIM-VAR | इंटरफ़ेस द्वारा | Ra≤0.4μm इलेक्ट्रोपॉलिशिंग | कण और संक्षारण उत्पाद अवरोधन; कनेक्शन रिसाव | SEMI F20; ASTM A269 |
| CMP स्लरी/वेट केमिकल्स ट्रांसफर पाइपलाइन | 316L EP/PFA/PTFE लाइनिंग | 1/4″–2″ | Ra≤0.4μm इलेक्ट्रोपॉलिशिंग | घर्षण पीसना + तेज अम्ल/ऑक्सीडेंट + कण प्रतिधारण | SEMI F20; SEMI F57; ASTM A269 |
| वेफर वॉशर/क्लैंप/स्प्रेयर | 316L/PFA/सिलिकॉन/घन सिलिकॉन कार्बाइड | 3-10mm पात्र | पॉलिशिंग/डिफ्यूजन | तीव्र संक्षारण + कण संदूषण | SEMI F20; ASTM A240 |
| वैक्यूम चैंबर/फेसप्लेट/अवलोकन विंडो नेक | 304L/316Lवैक्यूम ग्रेड | जहाज | 2B/अपघर्षक पॉलिशिंग/एसिड वॉशिंग | कम वैक्यूम क्षरण, वेल्डिंग लीक | ASTM A240; SEMI F20; ISO 3669 |
दर आवश्यकताओं को पूरा नहीं करतीमानक विन्यास।एक ही हिस्सा उपयोग की स्थितियों के आधार पर 316L से 304L या 2205 में बदल सकता है, केवल सामग्री के बजाय स्थितियों को निर्दिष्ट करके समय बचाता है।
सामग्री चयन में मुख्य बिंदु
- सबसे अधिक उपयोग किए जाने वाले ग्रेड 316L (6) और 304L (1) हैं।
- एसिड-प्रतिरोधी 316L से शुरू करें, 904L / या डुप्लेक्स (2/6 हिट) के साथ ऊपर जाएं।
- मोटाई सीमा: 0.05–30 mm: पतली प्लेटें फॉर्मिंग भागों के लिए हैं (झुकने वाली रीबाउंड और डीप ड्राइंग क्रैकिंग पर विचार करें), मोटी प्लेटें वेल्डिंग संरचनाओं के लिए हैं (हीट इनपुट और सेंसिटाइजेशन पर विचार करें)।
सामान्य समस्याएं
सेमीकंडक्टर और इलेक्ट्रॉनिक विशेष गैसों के लिए सबसे अधिक कौन सा स्टेनलेस स्टील उपयोग किया जाता है?
कुल 6 भागों में से, 316L सबसे अधिक बार (6 हिट) दिखाई देता है और उसके बाद 304L (1 हिट) आता है। किसी विशेष भाग के लिए अभी भी माध्यम और तापमान पर निर्भर करता है। उदाहरण के लिए, दोनों स्टेनलेस काउंटरटॉप्स को अलग-अलग ग्रेड की आवश्यकता होगी यदि एक खारे पानी के संपर्क में है।
किस प्रकार के क्षेत्रों में समस्याएं होने की संभावना है?
विफलता विवरणों के आधार पर, विशिष्ट उदाहरणों में "UHP गैस परिवहन पाइप" शामिल हैं: कण प्रतिधारण → वेफर संदूषण; Cl⁻/F⁻ विशेष संक्षारण; वेल्ड ताप-प्रभावित क्षेत्र (HAZ) संक्षारण। अनुशंसित ग्रेड 316L VIM-VAR विशिष्टताओं 1/8″–2″ के साथ। इन स्थितियों के लिए, डिज़ाइन चरण में माध्यम सांद्रता, तापमान और सफाई विधियों को निर्दिष्ट करने की सिफारिश की जाती है।
मुझे कौन सी मोटाई चुननी चाहिए?
सूची में मोटाई सीमा 0.05–30 mm है। पतली प्लेटों के लिए, झुकने और सतह परिष्करण पर विचार करें; मोटी प्लेटों के लिए, वेल्डिंग और संरचनात्मक मजबूती पर। समान स्थान के लिए उपकरण निर्माता के अनुसार मान भिन्न हो सकते हैं। अपने ड्राइंग या परिचालन स्थितियों के साथ पुनः जाँच करें।
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